采用加碳型氮气纯化装置对氮气进行提纯。钯碳纤维脱氧工艺的原理为：制氮机制出的纯度为99.9%的氮气经加热后进入装有钯碳纤维的脱氧器内，氮气中的氧和载有催化剂的碳在催化剂钯的作用下发生如下化学反应： C + O2 = CO2

在催化剂的作用下，其化学反应完全，脱氧后氮气中残氧含量可小于3ppm。脱氧后的氮气经冷却后进入装有分子筛的吸附器内，氮气中的水分和CO₂被分子筛深度吸附，经过滤后即可获得高纯度的氮气。该工艺优点为产品氮气中无氢含量，特别适用于对氢含量有严格要求场合。但脱氧器内的脱氧剂（钯碳纤维）为消耗型，我们为贵公司设计的此套装置的脱氧剂更换周期为三个月，使用三个月后便可通过切换除氧器来保证连续生产，另一反应完全的除氧器则需重新更换除氧剂，西斯气体为考虑到换料的方便性，设计进料与放料口，便换料过程简单化（每次换料仅需5分钟）。

加碳型氮气纯化流程图

▲西斯气体采用催化和化学吸附工艺联用，进行氮气纯化，也可用于氩
气纯化。
▲采用专利钯催化剂，纯化深度高，抗原料气波动能力强
（200%）。非消耗型填料，使用寿命长。
▲进口洁净管道、阀门，Swagelok全自动轨道焊，专利内加热
抛光反应器，全面保证产品质量。
▲集约化箱体包装，全自动运行。
应用领域：
▲高纯单晶硅、晶片外延、大规模集成电路、光电生产等电子
行业气体终端纯化。
▲气体行业超纯气体生产、分析零点气制备。
▲钢铁、石化行业氮气纯化。
工作压力：0.6~16Mpa 处理量：10~8000Nm3/h 颗粒度：≤0.01μm